欠陥検査装置のマップデータを共有化して光学顕微鏡で簡単にレビューします。

ウエハレビュー用光学顕微鏡システム PRVシステム

様々なメーカー製欠陥検査装置から出力されたマップを共有し、光学顕微鏡上で簡単にターゲットを観察するためのシステムです。光学顕微鏡の明視野、暗視野、微分干渉などの検鏡方法を用いてターゲットを観察することが可能です。4インチ（100mm）ウエハ～12インチ（300mm）ウエハまで実績があり、へき開されたウエハもダイ基準でアライメント可能です。また、要望に合わせてカスタマイズ対応します。

特長

• オリンパス、ニコン、ツアイス、ライカ等の各社光学顕微鏡へ追加可能
• 光学常磐へ固定して任意の光学系と組み合わせることも可能
• 専用ホルダーを作成し次の工程との連携が可能
• 基本ソフトウエアはウエハ用に作成されています
• 要望に合わせて様々な試料へも対応
• レーザマーキング（オプション）：簡単に1um以下のマーキングが可能

主な構成

• 市販の光学顕微鏡 or 特注システム
• サンプルサイズに合わせた自動XYステージ
• 電動Zフォーカスドライブ（オプション）
• デジタルカメラ
• 制御ソフトウエアPRV & PC
• 除振台（オプション）

欠陥検査装置との座標データ共有

※クリックすると拡大表示します。

●ご使用中の欠陥検査装置の欠陥座標マップと連携させることができます。表示されたマップ上の欠陥をクリックするか欠陥IDを入力することで、欠陥場所へステージが移動します。光学顕微鏡による観察で対象欠陥の解析に役立ちます。SEMやFIB観察等の次のステップへスムーズに移行できます。

• ・スムーズに欠陥観察
• ・5種類のアライメント機能で位置決め精度を向上
• ・顕微鏡の制御も統合可能
• ・デジタルカメラ制御も統合可能

制御ソフトウエア

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●コントロールウインドウ

• ・移動：ウエハ、ダイ、IDの各基準で移動します。
• ・アライメント：ウエハ円周、異物、ダイ等でアライメント。
• ・ダイ編集：ダイを選択してマップを編集します。
• ・設定：ウエハマップ表示を変更および背景画像の設定を行います。

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●マップリスト

• ・ID、座標位置、サイズでソートされます。
• ・IDをダブルクリックでその場所へ移動します。

製品構成

システム構成は詳細お打ち合わせの上決定いたします。まずはご要望をお聞かせ下さい。

カタログダウンロード

カタログダウンロード：光学顕微鏡自動レーザマーキングシステム キャラクターマーカー